Fertigungsmesstechnik

Schnelle phasenschiebende Elektronische Speckle-Pattern Interferometrie (ESPI)

Dr.-Ing. Robert Kowarsch

Stand der Technik/Motivation
  • Schnelle Erfassung der 3D-Verformung und Dickenänderung bei 2D-Zugversuchen von Kunststoffen am Institut für Technische Mechanik zur Ermittlung von Materialeigenschaften.
  • Bisherige photogammetrische Verfahren (Digital Image Correlation) erfordern aufwändige Oberflächenbehandlung mit out-of-plane Rauschen im µm-Bereich.
Methoden/Ergebnisse
  • Interferometrische Messung der out-of-plane Deformation im nm-Bereich mittels phasenschiebender, elektronischer Speckle-Pattern Interferometrie (ESPI). Ermittlung der in-plane Bewegung mit Hilfe der Speckle-Pattern Korrelationstechnik. Die Kombination beider Methoden erlaubt die Rekonstruktion der 3D-Deformation des Testobject
  • Schnelles Phasenschieben durch Wellenlängen-Tuning über den Strom durch einen Diodenlaser.
Veröffentlichungen
  1. R. Kowarsch, J. Zhang, C. Sguazzo, S. Hartmann and C. Rembe, “Speckle-interferometric measurement system of 3D deformation to obtain thickness changes of thin specimen under tensile loads,” in Proceedings of the SPIE Optical Metrology 2017, Munich, Germany, June 2017 (DOI: 10.1117/12.2269988).
Phasenschiebendes Interferometer