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Seminarvortrag

Vortrag über Interferenzmikroskopie

Prof. Dr. Lehmann  hält am 13. Dezember im Rahmen des Seminars „Messtechnik und Sensorik“ einen Vortrag über „Interferenzmikroskopie und laterale Auflösung“. Im Vortrag wird die Analyse des Übertragungsverhaltens des Abbildungssystems eines Mikroskops im dreidimensionalen Fourierraum vorgestellt, bei der die Ortsfrequenzen der Interferenzsignale auf der Ordinate aufgetragen werden. Dies lässt sich als dreidimensionale Erweiterung der Fourieroptik verstehen und offenbart Zusammenhänge zwischen der lateralen Auflösung bzw. dem übertragenen Frequenzband der Oberflächenfunktion und der Streifenfrequenz, bei der ein Interferenzsignal ausgewertet wird. Bei Systemen mit großer NA zeigt sich außerdem, dass die in der WLI übliche große spektrale Breite des Lichtes zu einer Verschlechterung der lateralen Auflösung führt. Durch schmalbandiges Licht und eine ringförmige Aperturausleuchtung lässt sich die Signalqualität für hohe laterale Ortsfrequenzen verbessern, was in der Praxis mit einer lateralen Auflösungsverbesserung einhergeht. Prof. Dr. Lehmann beschreibt in seinem Vortrag die Anwendung der Technik auf die Interferenzmikroskopie.

Der Vortrag findet im Seminarraum 400 im Gebäude C14 in der Leibnitzstraße 28 um 11:00 Uhr statt.