Die Arbeit trägt den Titel „Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulatons-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik“.
Herr Dr. Kowarsch arbeitet inzwischen bei Zeiss und entwickelt Technologien, die für die Realisierung neuer Belichtungssysteme für die Herstellung von Mikroelektronik benötigt werden.
Das IEI freut sich mit Herrn Kowarsch und gratuliert ganz herzlich.
Nachrichtendetails
Auszeichnung für IEI-Dissertation
Herr Dr. Robert Kowarsch erhält für seine am IEI durchgeführte Promotion den Förderpreis des Vereins von Freunden der TU Clausthal.
